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著者 (3件)：
資料名：
巻： 70 号： 3 ページ： 342-344 発行年： 1997年01月20日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902137281674568
整理番号：97A0216942
プラスチック基板上のシリコン膜のエキシマレーザ結晶化とドーピング
Excimer laser crystallization and doping of silicon films on plastic substrates.
SMITH P M
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
CAREY P G
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
SIGMON T W
(Lawrence Livermore National Lab., California)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 70 号： 3 ページ： 342-344 発行年： 1997年01月20日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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