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著者 (1件)：
資料名：
巻： 11 号： 2 ページ： 139-154 発行年： 1996年02月
JST資料番号： E0503B ISSN： 0268-1242 CODEN： SSTEET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902137447029399
整理番号：96A0260446
顕微Raman分光法によるシリコン集積回路の局所応力の研究
Micro-Raman spectroscopy to study local mechanical stress in silicon integrated circuits.
DE WOLF I
(Interuniv. Micro-Electronics Center(IMEC), Leuven, BEL)
資料名：
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻： 11 号： 2 ページ： 139-154 発行年： 1996年02月
JST資料番号： E0503B ISSN： 0268-1242 CODEN： SSTEET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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