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著者 (6件)：
資料名：
巻： 46 号： 2 ページ： 597-620 発行年： 1997年
JST資料番号： E0026A ISSN： 0007-8506 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902137454093710
整理番号：98A0199652
STMとAFMの工業利用
Industrial Uses of STM and AFM.
VORBURGER T V
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
DAGATA J A
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
WILKENING G
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig, DEU)
,
LIZUKA K
(Nikon Corp., Ibaraki, JPN)
,
THWAITE E G
,
LONARDO P
資料名：
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻： 46 号： 2 ページ： 597-620 発行年： 1997年
JST資料番号： E0026A ISSN： 0007-8506 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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