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資料名：
巻： 169/170 ページ： 349-352 発行年： 2001年01月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902137622659970
整理番号：01A0283002
反応性スパッタリングにより作製したInN膜の電気及び光学特性
Electrical and optical properties of InN films prepared by reactive sputtering.
SAITO N
(Takamatsu National Coll. Technol., Takamatsu, JPN)
,
IGASAKI Y
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 169/170 ページ： 349-352 発行年： 2001年01月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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