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著者 (4件)：
資料名：
巻： 36th ページ： 180-183 発行年： 2000年09月07日
JST資料番号： F0605B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902137704924124
整理番号：00A0873491
ラマン分光法によるDLC膜の残留応力測定
Residual Stress Measurement in DLC films by Raman Spectroscopy.
三木靖浩
(奈良県工技セ)
,
谷口正
(奈良県工技セ)
,
山内尚彦
(大阪府産業技総研)
,
曽根匠
(大阪府産業技総研)
資料名：
X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集
(Proceedings of the Symposium on X-Ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials)
巻： 36th ページ： 180-183 発行年： 2000年09月07日
JST資料番号： F0605B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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