文献
J-GLOBAL ID:200902138845102531
整理番号:02A0809569
フィルタ陰極真空アーク法によって作製したダイヤモンド状炭素膜の特性
Properties of Diamond-Like Carbon Films Fabricated by the Filtered Cathodic Vacuum Arc Method.
著者 (8件):
INABA H
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
FUJIMAKI S
(Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN)
,
SASAKI S
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
HIRANO S
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
TODOROKI S
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
FURUSAWA K
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
YAMASAKA M
(Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN)
,
SHI X
(Nanofilm Technol. International Pte., Ltd., Singapore)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
41
号:
9
ページ:
5730-5733
発行年:
2002年09月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)