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資料名：
巻： J85-C 号： 4 ページ： 293-299 発行年： 2002年04月01日
JST資料番号： S0623C ISSN： 1345-2827 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902138899630967
整理番号：02A0356036
EBテストパッド配置比率の向上手法
A Method for Improving the Placement Ratio of E-Beam Testing Pads.
久慈憲夫
(NTTエレクトロニクス エレクトロニクス事業本部)
,
石原隆子
(NTT 通信エネルギー研)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C
(IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))
巻： J85-C 号： 4 ページ： 293-299 発行年： 2002年04月01日
JST資料番号： S0623C ISSN： 1345-2827 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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