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著者 (2件)：
資料名：
巻： 63 号： 8 ページ： 1116-1118 発行年： 1993年08月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902140592408455
整理番号：93A0798257
直径<10nmの大きなアスペクト比をもつシリコン柱の作製
Fabrication of high aspect ratio silicon pillars of <10 nm diameter.
CHEN W
(Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
,
AHMED H
(Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 63 号： 8 ページ： 1116-1118 発行年： 1993年08月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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