Sorry, this section is only available in Japanese.
著者 (4件)：
資料名：
巻： 41 号： 2 ページ： 290-296 発行年： 1998年04月
JST資料番号： G0026B ISSN： 1344-7912 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902140724545155
整理番号：98A0605041
シリコンウエーハにスパッタ法で製膜したパターニングしたアルミニウム薄膜の残留応力のX線測定
X-Ray Measurement of Residual Stress in Patterned Aluminum Thin Films Sputtered on Silicon Wafers.
TANAKA K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
AKINIWA Y
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
INOUE K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
OHTA H
(Hitachi Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名：
JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers)
(JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers))
巻： 41 号： 2 ページ： 290-296 発行年： 1998年04月
JST資料番号： G0026B ISSN： 1344-7912 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。