文献
J-GLOBAL ID:200902141064572282
整理番号:96A0864789
回転する分析器エリプソメータを用いたイオン支援蒸着膜の初期段階の観察
Observation of the Initial Stage of Ion Assisted Deposition Films Using a Rotating-Analyzer Ellipsometer.
著者 (6件):
SHIBUYA T
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
KAWABATA S
(Tokyo Inst. Polytechnics, Kanagawa, JPN)
,
YOSHIZAWA H
(Tokyo Inst. Polytechnics, Kanagawa, JPN)
,
SUZUKI S
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
AMANO N
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
YOKOTA H
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
35
号:
8
ページ:
4556-4560
発行年:
1996年08月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)