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資料名：
巻： 45 号： 3 ページ： 297-300 発行年： 2002年03月20日
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902141285012052
整理番号：02A0435875
Heガスを用いたBi2Sr2Can-1CunOyスパッタ薄膜の組成制御
Phase Control of Bi2Sr2Can-1CunOy Sputtered Films using He Gas.
松本浩介
(鳥取大 工)
,
小椋満
(鳥取大 工)
,
葛原宏治
(鳥取大 工)
,
岸田悟
(鳥取大 工)
,
水谷剛
(物質・材料研究機構 物質研)
,
吉川英樹
(物質・材料研究機構 物質研)
,
福島整
(物質・材料研究機構 物質研)
,
徳高平蔵
(鳥取大 工)
資料名：
真空
(Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 45 号： 3 ページ： 297-300 発行年： 2002年03月20日
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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