文献
J-GLOBAL ID:200902141413211586
整理番号:96A0721473
電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学蒸着によるダイヤモンド状炭素膜の電界放出特性
Field Emission Characteristics of Diamond-like Carbon Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition.
著者 (4件):
GOTOH K
(NHK Sci. and Technical Res. Lab., Tokyo, JPN)
,
EGAMI N
(NHK Sci. and Technical Res. Lab., Tokyo, JPN)
,
HIRANO Y
(NHK Sci. and Technical Res. Lab., Tokyo, JPN)
,
SATO F
(NHK Sci. and Technical Res. Lab., Tokyo, JPN)
資料名:
静岡大学電子工学研究所研究報告
(Bulletin of the Research Institute of Electronics, Shizuoka University)
巻:
30
号:
3
ページ:
223-225
発行年:
1995年
JST資料番号:
S0453A
ISSN:
0286-3383
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)