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文献
J-GLOBAL ID:200902142125811842   整理番号:01A0398322

超薄(<40nm)Cu膜の膜厚依存電気抵抗率

Thickness dependent electrical resistivity of ultrathin (<40nm) Cu films.
著者 (5件):
LIU H-D
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
ZHAO Y-P
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
RAMANATH G
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
MURARKA S P
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
WANG G-C
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)

資料名:
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

巻: 384  号:ページ: 151-156  発行年: 2001年03月01日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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