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J-GLOBAL ID:200902142939284908   整理番号:01A0209137

圧電素子の高周波振動を利用したアクティブスクイーズ空気軸受の開発 (第2報) ラジアルスクイーズ空気軸受による回転軸の運動誤差補正

Development of Active Squeeze Air Bearing Using Oscillation of Piezoelectric Actuators. (2nd Report). Radial Squeeze Air Bearing for Motion Error Correction.
著者 (4件):
磯部浩巳
(長岡技科大 工)
小野寺千絵
(長岡技科大 大学院)
中尾祥昌
(長岡技科大 大学院)
久曽神あきら
(長岡技科大 工)

資料名:
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 67  号:ページ: 101-105  発行年: 2001年01月05日 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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