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J-GLOBAL ID：200902142992859386 整理番号：02A0687174

リングスロットアンテナによる大面積アルゴンマイクロ波プラズマの生成

Production of a large-area argon microwave plasma by a ring slot antenna.

著者 (3件)：

SHIMATANI K

(Toyo Univ., Saitama, JPN)

OKAMOTO T

(Ushio Inc., Hyogo, JPN)

OKAMOTO Y

(Toyo Univ., Saitama, JPN)

資料名：

Vacuum (Vacuum)

巻： 66 号： 3/4 ページ： 359-364 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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