文献
J-GLOBAL ID:200902143715518292
整理番号:93A0461975
気相エピタクシーでサファイア上に成長させたGaNのヘテロ構造における熱応力の緩和機構
Relaxation Mechanism of Thermal Stresses in the Heterostructure of GaN Grown on Sapphire by Vapor Phase Epitaxy.
著者 (3件):
HIRAMATSU K
(Nagoya Univ., Nagoya)
,
DETCHPROHM T
(Nagoya Univ., Nagoya)
,
AKASAKI I
(Meijo Univ., Nagoya)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
32
号:
4
ページ:
1528-1533
発行年:
1993年04月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)