文献
J-GLOBAL ID:200902144053116764
整理番号:99A0029878
単一工程の水熱合成法で堆積したPZT薄膜を用いた円筒型超音波マイクロモータ(φ2.4mm,L=10mmのステータ変換器)
A Cylindrical Micro Ultrasonic Motor Using PZT Thin Film Deposited by Single Process Hydrothermal Method(φ2.4mm, L=10mm Stator Transducer).
著者 (3件):
MORITA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KURIBAYASHI KUROSAWA M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HIGUCHI T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻:
45
号:
5
ページ:
1178-1187
発行年:
1998年09月
JST資料番号:
H0369A
ISSN:
0885-3010
CODEN:
ITUCER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)