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文献
J-GLOBAL ID:200902144053116764   整理番号:99A0029878

単一工程の水熱合成法で堆積したPZT薄膜を用いた円筒型超音波マイクロモータ(φ2.4mm,L=10mmのステータ変換器)

A Cylindrical Micro Ultrasonic Motor Using PZT Thin Film Deposited by Single Process Hydrothermal Method(φ2.4mm, L=10mm Stator Transducer).
著者 (3件):
MORITA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
KURIBAYASHI KUROSAWA M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
HIGUCHI T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)

巻: 45  号:ページ: 1178-1187  発行年: 1998年09月 
JST資料番号: H0369A  ISSN: 0885-3010  CODEN: ITUCER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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