文献
J-GLOBAL ID:200902144640622338
整理番号:01A0198119
けい素上にECR-CVDにより合成した非晶質窒化炭素の光学的性質
Optical properties of amorphous carbon nitride synthesized on Si by ECR-CVD.
著者 (5件):
LIU X W
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
TSENG C H
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
LIN J H
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHAO L T
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
SHIH H C
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
135
号:
2/3
ページ:
184-187
発行年:
2001年01月15日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)