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文献
J-GLOBAL ID:200902144640622338   整理番号:01A0198119

けい素上にECR-CVDにより合成した非晶質窒化炭素の光学的性質

Optical properties of amorphous carbon nitride synthesized on Si by ECR-CVD.
著者 (5件):
LIU X W
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
TSENG C H
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
LIN J H
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
CHAO L T
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
SHIH H C
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)

資料名:
Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)

巻: 135  号: 2/3  ページ: 184-187  発行年: 2001年01月15日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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