文献
J-GLOBAL ID:200902144951253573
整理番号:01A0283038
高周波スパッタリングにより種々のLiNbO3基板上に堆積したZnO薄膜
ZnO thin films deposited on various LiNbO3 substrates by RF-sputtering.
著者 (3件):
YAMAMOTO H
(Yonago National Coll. Technol., Tottori, JPN)
,
SAIGA N
(Yonago National Coll. Technol., Tottori, JPN)
,
NISHIMORI K
(Tottori Univ., Tottori, JPN)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
169/170
ページ:
517-520
発行年:
2001年01月15日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)