文献
J-GLOBAL ID:200902145573132203
整理番号:96A0800855
Si(001)上の大きいステップフリー領域の配列の加工
Fabrication of arrays of large step-free regions on Si(001).
著者 (5件):
TANAKA S
(Cornell Univ., New York)
,
UMBACH C C
(Cornell Univ., New York)
,
BLAKELY J M
(Cornell Univ., New York)
,
TROMP R M
(IBM Watson Res. Lab., New York)
,
MANKOS M
(IBM Watson Res. Lab., New York)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
69
号:
9
ページ:
1235-1237
発行年:
1996年08月26日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)