文献
J-GLOBAL ID:200902145601219549
整理番号:97A0669625
金/シランの気体-液体-固体反応によるシリコンナノ細線の形成
Growth of silicon nanowires via gold/silane vapor-liquid-solid reaction.
著者 (5件):
WESTWATER J
(Sony Res. Center, Yokohama, JPN)
,
GOSAIN D P
(Sony Res. Center, Yokohama, JPN)
,
TOMIYA S
(Sony Res. Center, Yokohama, JPN)
,
USUI S
(Sony Res. Center, Yokohama, JPN)
,
RUDA H
(Univ. Toronto, Toronto, CAN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
15
号:
3
ページ:
554-557
発行年:
1997年05月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)