文献
J-GLOBAL ID:200902146466910372
整理番号:00A0389281
マイクロ電気機械系(MEMS)における材料問題
Materials issues in microelectromechanical systems(MEMS).
著者 (1件):
SPEARING S M
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名:
Acta Materialia
(Acta Materialia)
巻:
48
号:
1
ページ:
179-196
発行年:
2000年01月01日
JST資料番号:
A0316A
ISSN:
1359-6454
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)