文献
J-GLOBAL ID:200902147258737914
整理番号:01A0282648
RFスパッタリング蒸着により作製したβ-FeSi2-Si複合薄膜によるスペクトル感度増強
Spectral sensitivity enhancement by thin film of β-FeSi2-Si composite prepared by RF-sputtering deposition.
著者 (5件):
OKAJIMA K
(Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN)
,
YAMATSUGU H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
WEN C
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SUDOH M
(Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN)
,
YAMADA K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
381
号:
2
ページ:
267-275
発行年:
2001年01月15日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)