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J-GLOBAL ID：200902147658626593 整理番号：00A0001548

窒素の取り込みによる非晶質炭素膜の熱安定性の改善

Improvement of the thermal stability of amorphous carbon films by incorporation of nitrogen.

著者 (2件)：

BAI H L

(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)

JIANG E Y

(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)

資料名：

Thin Solid Films (Thin Solid Films)

巻： 353 号： 1/2 ページ： 157-165 発行年： 1999年09月29日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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