文献
J-GLOBAL ID:200902149320168282
整理番号:98A0780407
光学部品製造のためのパイプ電極による計算機数値制御プラズマ化学蒸着加工
Computer numerically controlled plasma chemical vaporization machining with a pipe electrode for optical fabrication.
著者 (9件):
TAKINO H
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
,
SHIBATA N
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
,
ITOH H
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
,
KOBAYASHI T
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
,
TANAKA H
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
,
EBI M
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
,
YAMAMURA K
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SANO Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MORI Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
37
号:
22
ページ:
5198-5210
発行年:
1998年08月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)