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文献
J-GLOBAL ID:200902149488813566   整理番号:00A0239358

焦点検出のための同軸および共画像平面光学系とFourier縞解析を用いた三次元形状絶対測定

Absolute three-dimensional shape measurements using coaxial and coimage plane optical systems and Fourier fringe analysis for focus detection.
著者 (6件):
TAKEDA M
(Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN)
AOKI T
(Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN)
MIYAMOTO Y
(Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN)
TANAKA H
(OPTON Co. Ltd., Seto, JPN)
GU R
(OPTON Co. Ltd., Seto, JPN)
ZHANG Z
(OPTON Co. Ltd., Seto, JPN)

資料名:
Optical Engineering  (Optical Engineering)

巻: 39  号:ページ: 61-68  発行年: 2000年01月 
JST資料番号: B0577B  ISSN: 0091-3286  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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