文献
J-GLOBAL ID:200902149488813566
整理番号:00A0239358
焦点検出のための同軸および共画像平面光学系とFourier縞解析を用いた三次元形状絶対測定
Absolute three-dimensional shape measurements using coaxial and coimage plane optical systems and Fourier fringe analysis for focus detection.
著者 (6件):
TAKEDA M
(Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN)
,
AOKI T
(Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN)
,
MIYAMOTO Y
(Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN)
,
TANAKA H
(OPTON Co. Ltd., Seto, JPN)
,
GU R
(OPTON Co. Ltd., Seto, JPN)
,
ZHANG Z
(OPTON Co. Ltd., Seto, JPN)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
39
号:
1
ページ:
61-68
発行年:
2000年01月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)