文献
J-GLOBAL ID:200902149621727228
整理番号:99A0432589
マイクロデバイス用セラミック膜のマイクロ/ナノメカニカル特性化
Micro/nanomechanical characterization of ceramic films for microdevices.
著者 (2件):
LI X
(Ohio State Univ., OH, USA)
,
BHUSHAN B
(Ohio State Univ., OH, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
340
号:
1/2
ページ:
210-217
発行年:
1999年02月26日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)