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著者 (2件)：
資料名：
巻： 31 号： 3 ページ： 366-375 発行年： 1996年03月
JST資料番号： B0761A ISSN： 0018-9200 CODEN： IJSCBC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902149750968061
整理番号：96A0521714
表面マイクロマシン加速度計
Surface Micromachined Accelerometers.
BOSER B E
(Univ. California Berkeley, CA, USA)
,
HOWE R T
(Univ. California Berkeley, CA, USA)
資料名：
IEEE Journal of Solid-State Circuits
(IEEE Journal of Solid-State Circuits)
巻： 31 号： 3 ページ： 366-375 発行年： 1996年03月
JST資料番号： B0761A ISSN： 0018-9200 CODEN： IJSCBC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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