文献
J-GLOBAL ID:200902150288580590
整理番号:00A0154861
(11<span style=text-decoration:overline>2</span>0)面上に成長させた4H-SiCエピ層の鏡面状の表面形態
Specular Surface Morphology of 4H-SiC Epilayers Grown on (11<span style=text-decoration:overline>2</span>0) Face.
著者 (3件):
CHEN Z Y
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KIMOTO T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
MATSUNAMI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
38
号:
12A
ページ:
L1375-L1378
発行年:
1999年12月01日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)