文献
J-GLOBAL ID:200902150540702741
整理番号:99A0237865
ローラによるナノインプリントリソグラフィー
Roller nanoimprint lithography.
著者 (3件):
TAN H
(Princeton Univ., New Jersey)
,
GILBERTSON A
(Univ. Minnesota, Minnesota)
,
CHOU S Y
(Princeton Univ., New Jersey)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
16
号:
6
ページ:
3926-3928
発行年:
1998年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)