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著者 (9件)：
資料名：
巻： 2197 ページ： 278-293 発行年： 1994年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902150643447642
整理番号：94A0780194
Automated optical proximity correction-a rules-based approach.
OTTO O W
(SEMATECH, TX)
,
GAROFALO J G
(Trans Vector Technologies Inc., CA)
,
LOW K K
(AT&T Bell Lab., NJ)
,
YUAN C-M
(AT&T Bell Lab., NJ)
,
HENDERSON R C
(SEMATECH, TX)
,
PIERRAT C
(Trans Vector Technologies Inc., CA)
,
KOSTELAK R L
(Trans Vector Technologies Inc., CA)
,
VAIDYA S
(Trans Vector Technologies Inc., CA)
,
VASUDEV P K
(AT&T Bell Lab., NJ)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2197 ページ： 278-293 発行年： 1994年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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