文献
J-GLOBAL ID:200902150832154222
整理番号:00A0001742
低い貫通転位密度のSi上の高品質Geエピ層
High-quality Ge epilayers on Si with low threading-dislocation densities.
著者 (7件):
LUAN H-C
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
LIM D R
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
LEE K K
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
CHEN K M
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
SANDLAND J G
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
WADA K
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
KIMERLING L C
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
75
号:
19
ページ:
2909-2911
発行年:
1999年11月08日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)