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著者 (6件)：
資料名：
巻： A95 号： 2/3 ページ： 281-287 発行年： 2002年01月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902151304004100
整理番号：02A0178367
単結晶Si片持梁の作製
Fabrication of single-crystal Si cantilever array.
SAYA D
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUKUSHIMA K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TOSHIYOSHI H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HASHIGUCHI G
(Kagawa Univ., Kagawa, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KAWAKATSU H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A95 号： 2/3 ページ： 281-287 発行年： 2002年01月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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