文献
J-GLOBAL ID:200902151500399694
整理番号:01A0728453
埋込みタングステン線を有するサブミクロンInP/GaInAsヘテロ接合バイポーラトランジスタにおけるベース-コレクタ容量の低減
Reduction of Base-Collector Capacitance in Submicron InP/GaInAs Heterojunction Bipolar Transistors with Buried Tungsten Wires.
著者 (4件):
ARAI T
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
YAMAGAMI S
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
MIYAMOTO Y
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
FURUYA K
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
40
号:
7B
ページ:
L735-L737
発行年:
2001年07月15日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)