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著者 (3件)：
資料名：
巻： 72 号： 12 ページ： 1478-1480 発行年： 1998年03月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902151991882081
整理番号：98A0378319
近視野Raman分光法によるけい素中の応力のミクロン以下の分解能の測定
Submicron resolution measurement of stress in silicon by near-field Raman spectroscopy.
WEBSTER S
(Univ. Leeds, Leeds, GBR)
,
BATCHELDER D N
(Univ. Leeds, Leeds, GBR)
,
SMITH D A
(Univ. Leeds, Leeds, GBR)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 72 号： 12 ページ： 1478-1480 発行年： 1998年03月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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