文献
J-GLOBAL ID:200902152180488223
整理番号:93A0257176
超微細加工プロセス技術とGHz帯低損失弾性表面波フィルタ
Nanometer-Fabrication Process and GHz-Range Low-Loss SAW Filters.
著者 (2件):
山之内和彦
(東北大 電通研)
,
LEE C-S
(東北大 電通研)
資料名:
電子情報通信学会論文誌 A
(IEICE Transaction on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences (Japan Edition))
巻:
76
号:
2
ページ:
185-192
発行年:
1993年02月
JST資料番号:
S0621A
ISSN:
0913-5707
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)