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著者 (2件)：
資料名：
巻： 343/344 ページ： 24-26 発行年： 1999年04月
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902152294956146
整理番号：99A0694381
モンテカルロ法と拡散法を組み合わせたばあいの高圧スパッタリングのハイブリッドシミュレーション
A hybrid simulation of high pressure sputtering, combining the Monte Carlo method and the diffusive approach.
NAKANO T
(Seikei Univ., Tokyo, JPN)
,
BABA S
(Seikei Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 343/344 ページ： 24-26 発行年： 1999年04月
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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