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著者 (5件)：
資料名：
巻： 14 号： 10 ページ： 4186-4191 発行年： 2002年10月
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902152368486163
整理番号：02A0894115
2段階イミド化を経由したポリイミドのイオンビーム誘起デュアルトーンイメージング
Ion-Beam-Induced Dual-Tone Imaging of Polyimide via Two-Step Imidization.
SUZUKI Y
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
MAEKAWA Y
(Japan Atomic Energy Res. Inst., Gunma, JPN)
,
YOSHIDA M
(Japan Atomic Energy Res. Inst., Gunma, JPN)
,
MAEYAMA K
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
YONEZAWA N
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻： 14 号： 10 ページ： 4186-4191 発行年： 2002年10月
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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