文献
J-GLOBAL ID:200902152519115758
整理番号:01A0775703
中赤外線超拡散分光計のためのゲルマニウム侵入格子要素の超精密マイクロ研削
Ultraprecision Micro-Grinding of Germanium Immersion Grating Element for Mid-Infrared Super Dispersion Spectrograph.
著者 (4件):
OHMORI H
(RIKEN Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN)
,
EBIZUKA N
(RIKEN Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN)
,
MORITA S
(RIKEN Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN)
,
YAMAGATA Y
(RIKEN Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN)
資料名:
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻:
50
号:
1
ページ:
221-224
発行年:
2001年
JST資料番号:
E0026A
ISSN:
0007-8506
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)