文献
J-GLOBAL ID:200902153644680650
整理番号:01A0257543
FinFET 20nmまで微細化できる自己整合二重ゲートMOSFET
FinFET. A Self-Aligned Double-Gate MOSFET Scalable to 20nm.
著者 (9件):
HISAMOTO D
(Hitachi Ltd., Tokyo)
,
LEE W-C
(Univ. California, CA, USA)
,
KEDZIERSKI J
(Univ. California, CA, USA)
,
TAKEUCHI H
(Univ. California, CA, USA)
,
ASANO K
(Univ. California, CA, USA)
,
KUO C
(Univ. California, CA, USA)
,
ANDERSON E
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
KING T-J
(Univ. California, CA, USA)
,
HU C
(Univ. California, CA, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻:
47
号:
12
ページ:
2320-2325
発行年:
2000年12月
JST資料番号:
C0222A
ISSN:
0018-9383
CODEN:
IETDAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)