文献
J-GLOBAL ID:200902154007890213
整理番号:02A0442080
UV厚膜フォトレジストを使って作製した高実装密度用マイクロコネクタ
Micro Connector for High Packaging Density Fabricated by Using UV Thick Photoresist.
著者 (5件):
UNNO T
(Ritsumeikan Univ.)
,
TORIYAMA T
(New Energy and Industrial Technol.)
,
BHUIYAN M M I
(Ritsumeikan Univ.)
,
YOKOYAMA Y
(Ritsumeikan Univ.)
,
SUGIYAMA S
(Ritsumeikan Univ.)
資料名:
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻:
122-E
号:
5
ページ:
249-255
発行年:
2002年05月01日
JST資料番号:
L3098A
ISSN:
1341-8939
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)