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文献
J-GLOBAL ID:200902154693014319   整理番号:01A0052314

複合材料標的を使うスパッタ蒸着によって形成したNiTi形状記憶合金薄膜の組成制御

Composition Control of NiTi Shape Memory Alloy Films Formed by Sputter Deposition with a Composite Target.
著者 (3件):
TAKEDA F
(Toyama National Coll. Technol., Toyama, JPN)
YAMAZAKI T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
NAKAJIMA T
(Toyama National Coll. Technol., Toyama, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 39  号: 10  ページ: 5992-5994  発行年: 2000年10月15日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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