文献
J-GLOBAL ID:200902154834586842
整理番号:97A0131741
高周波プラズマによる高速プラズマ重合の新しいリモート技術
A novel remote technique for high rate plasma polymerization with radio frequency plasmas.
著者 (3件):
THEIRICH D
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
NINGEL K P
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
,
ENGEMANN J
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
86/87
号:
1/3 Pt 2
ページ:
628-633
発行年:
1996年12月15日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)