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文献
J-GLOBAL ID:200902154834586842   整理番号:97A0131741

高周波プラズマによる高速プラズマ重合の新しいリモート技術

A novel remote technique for high rate plasma polymerization with radio frequency plasmas.
著者 (3件):
THEIRICH D
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
NINGEL K P
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)
ENGEMANN J
(Univ. Wuppertal, Wuppertal, DEU)

資料名:
Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)

巻: 86/87  号: 1/3 Pt 2  ページ: 628-633  発行年: 1996年12月15日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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