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著者 (3件)：
資料名：
巻： 78 号： 11 ページ： 1607-1609 発行年： 2001年03月12日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902156181860245
整理番号：01A0454588
Si(001)との反応による層状けい酸ランタン誘電体の形成
Formation of a stratified lanthanum silicate dielectric by reaction with Si(001).
COPEL M
(T.J. Watson Res. Center, New York)
,
CARTIER E
(T.J. Watson Res. Center, New York)
,
ROSS F M
(T.J. Watson Res. Center, New York)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 78 号： 11 ページ： 1607-1609 発行年： 2001年03月12日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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