文献
J-GLOBAL ID:200902156856529365
整理番号:96A0902362
(AlXGa1-X)0.52In0.48P薄膜成長時の実時間偏光解析測定
Real-Time Ellipsometric Measurement during Growth of (AlxGa1-x)0.52In0.48P Thin Films.
著者 (4件):
YOSHIOKA Y
(Shimadzu Corp., Kyoto, JPN)
,
HASHIMOTO T
(Shimadzu Corp., Kyoto, JPN)
,
SHIGESADA Y
(Shimadzu Corp., Kyoto, JPN)
,
YOSHIDA T
(Shimadzu Corp., Kyoto, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
35
号:
9A
ページ:
4595-4598
発行年:
1996年09月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)