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資料名：
巻： 186 号： 1/4 ページ： 40-44 発行年： 2002年01月28日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902158001568021
整理番号：02A0322931
光支援パルスレーザ蒸着により成長させた酸化タンタル薄膜の構造及び電気特性
Structural and electrical properties of tantalum oxide films grown by photo-assisted pulsed laser deposition.
ZHANG J-Y
(Univ. Coll. London, London, GBR)
,
BOYD I W
(Univ. Coll. London, London, GBR)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 186 号： 1/4 ページ： 40-44 発行年： 2002年01月28日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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