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著者 (9件)：
資料名：
巻： 3676 号： Pt.1 ページ： 379-389 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902158034699458
整理番号：99A0791573
ステップおよびフラッシュインプリントリソグラフィ:高解像度パターニングへの新しいアプローチ
Step and Flash Imprint Lithography: A New Approach to High-Resolution Patterning.
COLBURN M
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
JOHNSON S
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
STEWART M
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
DAMLE S
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
BAILEY T
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
CHOI B
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
WEDLAKE M
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
MICHAELSON T
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
WILLSON C G
(Univ. Texas at Austin, TX)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3676 号： Pt.1 ページ： 379-389 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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