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資料名：
巻： 81 号： 12 ページ： 7764-7772 発行年： 1997年06月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902158618169183
整理番号：97A0669568
高周波マグネトロンスパッタ法で作製したアルミニウムドープ酸化亜鉛膜の構造と電気的,光学的特性
Structural, electrical and optical properties of aluminum doped zinc oxide films prepared by radio frequency magnetron sputtering.
KIM K H
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)
,
PARK K C
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)
,
MA D Y
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 81 号： 12 ページ： 7764-7772 発行年： 1997年06月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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