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文献
J-GLOBAL ID:200902159014745948   整理番号:97A0400502

低エネルギーイオン蒸着過程における電荷効果

The charge effects in the low-energy ion depositing processes.
著者 (3件):
KIUCHI M
(Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN)
TAKEUCHI T
(Nara Women’s Univ., Nara, JPN)
YAMAMOTO M
(Nara Women’s Univ., Nara, JPN)

資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)

巻: 121  号: 1/4  ページ: 154-156  発行年: 1997年01月 
JST資料番号: H0899A  ISSN: 0168-583X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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