文献
J-GLOBAL ID:200902159169902799
整理番号:97A0187286
四面体構造非晶質炭素(ta-C)膜の光学的,電子的性質に対するイオンエネルギーと基板温度の効果
Influence of ion energy and substrate temperature on the optical and electronic properties of tetrahedral amorphous carbon(ta-C) films.
著者 (7件):
CHHOWALLA M
(Univ. Liverpool, Liverpool, GBR)
,
ROBERTSON J
(Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
,
CHEN C W
(Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
,
SILVA S R P
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
,
DAVIS C A
(Australian National Univ., ACT, AUS)
,
AMARATUNGA G A J
(Univ. Liverpool, Liverpool, GBR)
,
MILNE W I
(Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
81
号:
1
ページ:
139-145
発行年:
1997年01月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)